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高科技项目招商引资:金刚石大气窗口(10.6μm) 制备/加工及应用
发布日期:2015-04-02

关键词:硫化锌、硒化锌、锗、窗口、window、ZnS、ZnSe、Ge、Si

               IR window, 红外窗口、大气窗口、AR coating、高透过率

               物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、CVD金刚石窗口

               CO2气体激光器、 二氧化碳激光输出窗口、DLC coating、 类金刚石

               激光损伤阈值、红外增透膜、整流罩、导弹、微波等离子体CVD

 

我公司提供大面积多晶光学级金刚石窗口(100-150mm)解决方案用于超高功率二氧化碳激光器输出窗口:

 

第一步:生长

1. 衬底准备,包括:选材、衬底表面处理、晶种及相关工艺

2. 生长控制:采用CVD设备,将准备好的衬底放入样品台,在适当的工艺条件下生长(控制功率、气压、流量、衬底温度、生长时间)。

3. 生长完成:在获得设定的厚度后停止生长

可获得光学级(透过率>68%@10.6μm)、大面积(直径100-150mm)、厚片(1.2-2mm)

 

第二步:抛光

采用专门的 抛光设备+特制抛光液进行研磨、磨平、抛光。

可获得:1) 单晶表面粗糙度1nm,平整度0.2波长;2)多晶窗口表面粗糙度20-50nm,平整度0.2波长。

 

第三步:切割

采用专用激光切割机,可获得长方形、三角形、圆片等规则高精度形状光学元件。

 

第四步:镀膜

采用镀膜手段,可以实现高品质增透膜。

可获得:1)透过率>90% (1064nm);2)透过率>96%(10.6μm)

 

欢迎对上述项目感兴趣的个人或公司投资人联系我们!

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