应用:等离子体诊断,包括等离子体物理研究、应用等离子体表征、工艺研发与控制
技术规格:
使用频率:26.5GHz
最大电子密度:3×1012cm-3
最小电子密度:
(109-1010)cm-3 / l(cm);对于脉冲等离子体
(1010-1011)cm-3 / l(cm);对于连续等离子体
其中l为等离子体尺寸
最大时间分辨率:1-10 μs
最大气体压强:5-20 mbar
最大等离子体尺寸:100cm
距天线最大距离:5m
最小窗口直径:3cm
特点:
高灵敏度
时间分辨率好
低成本
参考用户:
German Aerospace Center
Institute of Aerodynamics and Flow Technology
Supersonic and Hypersonic Technology Department
GREMI,
Universite d'Orleans
Ruhr-University Bochum
Institute for Experimental Physics V