关键词:磁控溅射、PZT、压电材料、N2O5、Ta2O5、光学薄膜、MEMS、微机电系统
光伏薄膜、LED、OLED、CdS、CdSe、GaN、GaAs、减反膜、增透膜、高反膜
红外、紫外、可见光、激光膜、金属膜、氧化膜、半导体膜、介质膜、RF、PLT
ZTO、AZO、透明导电氧化物、ATO、氧化锡锑、TCO、铁电材料、铁磁材料、硬质薄膜
RF射频溅射系统
全自动粗抽真空泵
低温泵:高真空环境,oil free。
500W 射频源
3个8英寸溅射靶(铂、钛、铝)
其他特点:
快速装载,快速抽真空,闭环氦低温泵。
特殊的机械设计,最小化污点和微孔等缺陷的产生。
易操作的装载托盘设计,科降低晶圆破损率。
干净的高真空环境,保证可重复性高品质薄膜。
生产高品质Al, Al合金, Pt,硅化物,TiW,NiAu,氮化硅,二氧化硅,硅铬化合物
可用于光学薄膜、MEMS、半导体晶圆处理、金属膜、非金属膜等领域。