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超快气体阀(100Bar)
发布日期:2021-03-08

 
常规的气体阀门开/关时间数毫秒(ms),而超快气体阀开/关时间分别<100us / <500us,用户包括美国劳伦斯伯克利实验室(LBNL)、美国罗彻斯特大学(LLE)、美国国防部(DoD)、法国武器装备总局(DGA)等单位。
 
有一个案例说明:以前LBNL用其他供应商的气体阀(真空腔室用11000 L/s的分子泵抽气),重复频率仅仅能够达到0.1Hz;后来LBNL采用这个超快气体阀,重频很容易达到1Hz(用超快阀门之后,真空度起落较小,阀开关引起真空度从2E-7到2E-5 torr,而用常规阀真空度要降到E-3 Torr);不过这款气体阀通常用在气压70Bar-100Bar的实验。
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