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大面积多晶光学金刚石窗口解决方案
发布日期:2021-03-11

我公司提供大面积多晶光学级金刚石窗口(100-150mm)解决方案:

 

第一步:生长

1. 衬底准备,包括:选材、衬底表面处理、晶种及相关工艺

2. 生长控制:采用CVD设备,将准备好的衬底放入样品台,在适当的工艺条件下生长(控制功率、气压、流量、衬底温度、生长时间)。

3. 生长完成:在获得设定的厚度后停止生长

可获得光学级(透过率>68%@10.6μm)、大面积(直径100-150mm)、厚片(1.2-2mm)

 

第二步:抛光

采用专门的 抛光设备+特制 抛光液进行研磨、磨平、抛光。

可获得:1) 单晶表面粗糙度1nm,平整度0.2波长;2)多晶窗口表面粗糙度20-50nm,平整度0.2波长。

 

第三步:切割

采用专用激光切割机,可获得长方形、三角形、圆片等规则高精度形状光学元件。

 

第四步:镀膜

采用多种物理气相沉积手段,可以实现高品质增透膜。

可获得:1)透过率>90% (1064nm);2)透过率>96%(10.6μm)

 

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