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12英寸大面积专用离子减薄仪(MU700)
发布日期:2021-03-11

关键词:RIE、RIBE、反应离子束刻蚀、CAIEB、化学辅助离子束刻蚀、

                过渡金属、磁性材料、MRAM、GMR、TMR、Pt、Cu、TeGe、PZT

 

型号:MU700S;    产地:欧洲;  

应用:过渡金属, PZT, 磁性材料(MRAM, GMR, TMR), Pt, Cu, TeGe ;

 

代表性用户:法国科学研究中心(CNRS)、意法半导体(ST)

 

RFICP源:束径可达 220 mm

 

采用分子泵或低温泵+干泵组合真空系统

 

均匀性:+/- 5%  on 290 mm衬底

 

水冷样品台,衬底尺寸最大可达直径300mm

 

样品台可以倾斜和旋转

 

配套SIMS用于刻蚀监控

 

配置Load Lock

 

控制系统:全自动控制,半自动和手动模式可用
              支持多级用户权限设置和管理
              支持设备远程操作、监控、诊断和维护
              系统自动报警及定位故障

 

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