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6英寸样品专用离子减薄仪(MU 600)
发布日期:2021-03-11

关键词:RIE、RIBE、反应离子束刻蚀、CAIEB、化学辅助离子束刻蚀、

              过渡金属、磁性材料、MRAM、GMR、TMR、Pt、Cu、TeGe、PZT

 
 
型号:MU 600;   产地:欧洲;

应用:过渡金属, PZT, 磁性材料(MRAM, GMR, TMR), Pt, Cu, TeGe ;

代表性用户:法国科学研究中心(CNRS)、意法半导体(ST) 
 
基本配置如下:
 
主腔体:采用不锈钢,直径600mm×400mm
           采用35m3/h干泵+1500l/s低温泵,真空度≤10-7mbar
 
样品台:水冷4/6英寸,可以旋转(转速可达10rpm),可以0-180°倾斜(精度和可重复性优于0.1°)
 
RF ICP源:1000W,100-1000eV
均匀性:±4% on 4英寸
            ±6% on 140 mm
 
气路:氩气气路、反应气路(用于反应离子束刻蚀RIBE)
 
刻蚀监控:SIMS,分子泵240l/s+干泵5m3/h
 
控制系统:全自动控制,半自动和手动模式可用
              支持多级用户权限设置和管理
              支持设备远程操作、监控、诊断和维护
              系统自动报警及定位故障
 

 

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