关键词：单层膜、多层膜、磁性膜、光学膜、金属膜、绝缘膜、半导体膜

                连续沉积、进口磁控溅射、SiO2、ZrO2、TiO2、RHEED

型号：MP800S                产地：欧洲             应用：金属膜、非金属膜制备

圆柱形主腔体：电抛光不锈钢

         低温泵+干泵

          三个6’’ DC磁控靶源，最大可达8英寸；

          分别配备独立挡板，无交叉污染。

          RF加载到DC靶源可选，可用DC/RF。

          氩气和氮气气路可用

          4’’衬底加热；单色光学高温计

          样品台冷却：水冷

          石英晶振监测（DC/RF模式下均可）

          衬底：RF刻蚀及偏压（13.56MHz，气冷）

LOAD LOCK （带自动传动手臂）

          分子泵+干泵

          全自动传动衬底

原位分析处理：RHEED (反射高能电子衍射)+等离子清洗/离子束清洗 Ion milling

控制单元：全自动电脑控制，半自动和手动模式可选；远程维护可用。

典型用户包括：格拉斯哥大学、法国波尔多第一大学、法国科学研究中心（CNRS）、CEA、加拿大滑铁卢大学等。欢迎联系我们索取详细资料