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磁控溅射用于单层膜/多层膜/磁性膜制备
发布日期:2021-03-11

关键词:单层膜、多层膜、磁性膜、光学膜、金属膜、绝缘膜、半导体膜

                连续沉积、进口磁控溅射、SiO2、ZrO2、TiO2、DC靶、RF靶

 

型号:MP 900S    产地:欧洲      应用:单层膜、多层膜、磁性膜

 

 

  • 配置多个可更换金属靶:Ni, Pt, Al, NiCr, Au, Ge, Ti, TaN

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  • 衬底双行星运动,最大可加载4英寸衬底

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  • LOAD LOCK及主腔体均配备分子泵和干泵

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  • 可沉积多层膜,可原位应力检测

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  • 应用于X-射线等领域.

 

  • 6个高度可调阴极磁控管

 

  • 3个1.5kW直流靶,3个1kW射频靶

 

  • 氩气、氧气、氮气气路,分别配备MFC

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  • 全自动电脑控制,半自动和手动模式可用,支持远程维护

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