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热障层制备/红外波导 专用电子束蒸镀仪
发布日期:2021-03-11

关键词:热障层、红外波导、lift-off工艺、HMET晶体管、PHMET晶体管、

              欧姆接触、肖特接触、磁性材料、MEMS封装、约瑟夫森电路

  • 型号: MEB550S,  产地:欧洲    应用:Thermal barriers/红外波导

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  • 8个坩埚:Au, Pd, Al, Mo, Ni, NiCr, Ti, Ge

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  • 样品台可旋转、可倾斜,可加载6英寸衬底

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  • 配备Load Lock和主腔体

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  • 真空系统:采用低温泵和干泵

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  • 10kW电子束源

     

  • 离子枪对衬底进行清洗和刻蚀

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  • 全自动控制,半自动和手动可选,支持远程维护

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 典型用户:格拉斯哥大学

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