关键词：热障层、红外波导、lift-off工艺、HMET晶体管、PHMET晶体管、

              欧姆接触、肖特接触、磁性材料、MEMS封装、约瑟夫森电路

thermal evaporation system

热蒸镀用于Cr, Al, Au等。

样品可冷去到液氮温度-77K

真空系统采用扩散泵和机械泵

腔体采用钟罩型腔体

6个热蒸发元，采用陶瓷或钨合金蒸发皿

手动操作或半自动操作或全自动

支持远程维护和操作

典型用户：格拉斯哥大学

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