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热蒸发真空镀膜系统
发布日期:2021-03-11

关键词:热障层、红外波导、lift-off工艺、HMET晶体管、PHMET晶体管、

              欧姆接触、肖特接触、磁性材料、MEMS封装、约瑟夫森电路

 

 

thermal evaporation system

 

热蒸镀用于Cr, Al, Au等。

 

样品可冷去到液氮温度-77K

 

真空系统采用扩散泵和机械泵

 

腔体采用钟罩型腔体

 

6个热蒸发元,采用陶瓷或钨合金蒸发皿

 

手动操作或半自动操作或全自动

 

支持远程维护和操作

 

典型用户:格拉斯哥大学

 

欢迎咨询我们,可获得详细技术资料!

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