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金属薄膜制备专用电子束蒸发镀膜系统
发布日期:2021-03-11

 

关键词:热障层、红外波导、lift-off工艺、HMET晶体管、PHMET晶体管、

              欧姆接触、肖特接触、磁性材料、MEMS封装、约瑟夫森电路

             金属膜、Ni、Pt、Al、Au、Ge、Ti

 

型号:MEB 400S,  产地:欧洲, 应用:沉积金属薄膜

 

坩埚:8×12cc, 材料分别是Ni, Pt, Al, NiCr, Au, Ge, Ti, Au金属

 

电子枪:10kW

 

真空系统:采用低温泵+干泵

                  配备薄膜真空计、潘宁/皮拉尼真空计

 

样品台:可接纳4英寸衬底

 

衬底旋转:双星新运动

 

膜厚控制仪:沉积速率0.01A/s,  厚度分辨率0.1A

 

Load Lock可选

 

控制系统:全自动控制,半自动和手动模式可用

        支持多级用户权限设置和管理
 
        支持设备远程操作、监控、诊断和维护
       
        系统自动报警及定位故障

 

若对我们的设备感兴趣,欢迎联系我们!

 

 

 

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