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金属薄膜制备专用热蒸镀镀膜系统
发布日期:2021-03-11

型号:MEB450S,   产地:欧洲,  应用:沉积金属薄膜

 

蒸镀腔体:高600mm、宽450mm、深450mm

热蒸镀源:6个热蒸镀源

 

样品台: 可加载4×60mm衬底

衬底旋转:10 rpm

衬底加热:热阻丝加热可达300℃

                  采用热电偶控温

 

厚度控制:采用 石英晶振膜厚控制仪

 

衬底清洗及刻蚀:

                 配备直流离子枪

                 Ar、N2气路用于反应离子束刻蚀

                 刻蚀不均匀性±4% @ 60mm晶圆

                 离子枪到衬底距离为300mm

              

控制系统:全自动控制,半自动和手动模式可用

        支持多级用户权限设置和管理
 
        支持设备远程操作、监控、诊断和维护
       
        系统自动报警及定位故障

 

 

若对我们的设备感兴趣,欢迎联系我们!

 

 

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