关键词：磁控溅射、超高真空、金属膜、氧化膜、约瑟夫森结、超导、量子器件、量子比特、

              多腔体、Qubit、UHV、铌基超导、氮化铌、钛氮化铌、NbTiN、NbN、sputtering system

              Nb-based superconductor、超导铝结、Josephson junction

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