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超高真空电子束蒸镀设备(Load lock+处理室+蒸发室)
发布日期:2021-03-11

关键词:电子束蒸镀、超高真空、金属膜、氧化膜、约瑟夫森结、超导、量子器件、量子比特、

                多腔体、Qubit、UHV、Evaporation system、超导铝结、Josephson junction

 

超高真空三腔体电子束蒸发镀膜仪

推荐配置:可以用于沉积Ti, Ni, Au, Cr, Al, Al2O3等金属及氧化物薄膜,目前全球主要超导量子实验室均使用该设备制备超导Al结(量子比特和约瑟夫森结)和量子器件,可以制备大面积、高度稳定性和可重复性超导结。更详细信息或资料,请咨询我们!

典型用户:耶鲁大学、日本NTT、中科院下属研究所等

 

欢迎进一步咨询!

 

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