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高性能磁控溅射镀膜设备(MP700S)
发布日期:2021-03-11

关键词:多靶磁控溅射、共溅射、Co-sputter、金属膜、氧化膜、半导体膜、非金属膜、约瑟夫森结、

                超导、量子器件、量子比特、 Qubit、铌基超导、氮化铌、钛氮化铌、NbTiN、NbN、

                 sputtering system、Josephson junction

 

产地:欧洲;   型号:MP700S;     应用:超导量子结制备、薄膜沉积。

磁控溅射镀膜系统可以沉积各种金属、半导体、非金属薄膜,又特别适合用于超导量子结、约瑟夫森结等量子器件的制备,例如:超导Nb、NbN、NbTiN等,MP700S磁控溅射系统专门用于超导约瑟夫森结的制备,其特点如下:

 

使用该设备能够制备高品质、重复性好的约瑟夫森结,因而深受全球超导量子器件研究小组的推崇。目前包括:格拉斯哥大学、法国波尔多第一大学、法国科学研究中心(CNRS)、法国原子能委员会(CEA)、加拿大滑铁卢大学、清华大学等单位均在使用PLASSYS公司同类设备。 

 

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