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高真空电子束蒸发镀膜机(MEB550S)
发布日期:2021-03-11

关键词:磁控溅射、电子束蒸镀、超高真空、金属膜、氧化膜、约瑟夫森结、超导、量子器件、量子比特、

                多腔体、Qubit、UHV、铌基超导、氮化铌、钛氮化铌、NbTiN、NbN、sputtering system

                Evaporation system、Nb-based superconductor、超导铝结、Josephson junction

 

产地:欧洲;     型号:MEB550;   应用:制备金属膜、氧化膜,超导铝结等

 

高真空电子束蒸发镀膜设备是量子器件制备中必不可少的仪器,用于制备各种高纯金属薄膜和氧化物薄膜。开展量子计算机实验研究,如基于金刚石NV色心,离子阱,超导量子结,量子点电子自旋的研究,均需要蒸镀各种高质量金属薄膜来制备量子器件。此款高真空电子束蒸发镀膜仪(HV E-beam evaporation system)得到全球科研工作者广泛使用和推崇,并且具有良好的声誉。利用上述配置,研究者可以制备各种高品质和高度可重复性薄膜材料。

目前包括中国科学院物理所、清华大学、哈尔滨工业大学、苏州医工所、长春光机所、上海酸盐研究所等单位均在使用相关设备在国际上也获得了美国(Yale  Univ, Princeton  Univ, UCSB, Chicago Univ, Raytheon)、英国Glasgow  Univ)、德国KIT Karlsruhe, Dresden  Univ)、日本(NTT, RIKEN, Tokyo  Univ)加拿大(Waterloo  Univ, Sherbrooke  Univ)法国 (CNRS, CEA, Thales Group, Grenoble, IEMN,  Univ Geneva)瑞士(ETH Zurich)瑞典(Chalmers  Univ)俄罗斯(SKOLKOVO)意大利STMicroelectronics)等国家的著名机构的高度认可。

 

推荐配置:可以用于沉积几乎任何金属及氧化物薄膜,目前全球主要超导量子实验室均使用该设备制备超导结(量子比特和约瑟夫森结)和量子器件,可以制备大面积、高度稳定性和可重复性超导结。

 

全自动软件包,支持半自动和手动模式,支持远程网络操作和维护。

典型用户:耶鲁大学、UCSB、普林斯顿大学、滑铁卢大学、法国科学研究中心(CNRS)、格拉斯哥大学、日本NTT、清华大学等,欢迎咨询!

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